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抛光硅片的种类有哪些?

编辑:浙江众晶电子有限公司时间:2021-08-19

由于每家硅片企业的等级标准都不一样,以下标准针对的硅片厚度为220μm,仅供参考。

抛光硅片优等品

1.硅片表面光滑洁净。 2.TV:220±20μm。 3.几何尺寸:边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm; 边长103±0.5mm、对角135±0.5mm; 边长150±0.5mm、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。 同心度:任意两个弧的弦长之差≤1mm。垂直度:任意两边的夹角:90°±0.3.

抛光硅片合格品

抛光硅片一级品:1.表面有少许污渍、轻微线痕。2.220±20μm≤TV≤220±30μm。3.几何尺寸:边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm; 边长103±0.5mm、对角135±0.5mm; 边长150±0.5mm、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。同心度:任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。垂直度:任意两边的夹角:90°±0.5.cheapradiishoes。

抛光硅片二级品:1.表面有少许污渍、线痕、凹痕,轻微崩边。2.220±30μm≤TV≤220±40μm。3.凹痕:硅片表面凹痕之和≤30μm。4.崩边范围:崩边口不是三角形状,崩边口长度≤1mm,深度≤0.5mm。5.几何尺寸:边长125±0.52mm;对角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm; 边长103±0.52mm、对角135±0.52mm; 边长150±0.52mm、156±0.52mm、对角203±0.52mm、200±0.52mm。同心度:任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。垂直度:任意两边的夹角:90°±0.8.

抛光硅片三级品:1.表面有油污但硅片颜色不发黑,有线痕和硅落现象。2.220±40μm≤TV≤220±60μm。3.硅落:整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。

抛光硅片不合格品

a.严重线痕、厚薄片:TV>220±60μm。b.崩边片:有缺损但可以改Φ103的硅片。c.气孔片:硅片中间有穿孔。d.外形片:切方滚圆未能磨出的硅片。e.倒角片(同心度):任意两个弧的弦长之差>1.5mm。f.菱形片(垂直度):任意两边的夹角>90°±0.8.g.凹痕片:硅片两面凹痕之和>30μm。h.脏片:硅片表面有严重污渍且发黄发黑。i.尺寸偏差片:几何尺寸超过二级品的范围。